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分析了采用滑阀式真空泵直拉单晶炉真空系统的缺点；
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improvement of vacuum and air-charging systems for czochralski crystal grower
直拉单晶炉真空系统和充气系统的改进
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单晶炉炉室真空密闭性能是衡量单晶炉设备性能好坏的重要因素。空气通过植物冠层移动的能力直接与温室的密闭程度有关。
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